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空气采样探测器在无尘室的应用

  无尘室类场所由于持续供给易燃性原料,所以存在着相当大的火灾危险,例如半导体制造厂、研发机构、制药生产设施。由于这类场所中空气流量较大并存在高浓度的氧气,会加快火灾增长,并加快烟雾和火灾所生成的污染物的扩散。但是,主要的危险还是来自于所要保护的环境本身。即使最为微小的火灾也会污染生产设备、破坏产品,并导致不可恢复的破坏和停止生产。其它要注意的是对这些类型设施的实际气流方式进行评估,确定发出的报警是真是假。
  
  根据上述的原因,在基于性能化的设计中,通过在概念设计阶段对环境中存在的危险进行评价后,提出一套火灾防护系统的设计方案。而对于无尘室环境中,采用性能普通的感烟探测器,需要烟雾达到一定的浓度后才能报警,而不能极早期的对火灾风险进行探;所以要想解决问题,只有安装可靠的极早期空气采样烟雾探测系统能够极大程度地降低火灾风险,并将误报警发生率降低到最低程度,避免误报警所造成的代价昂贵的生产设备的停机。
  
  综上所述无尘室的主要危害有以下几种:
  
  一是设备设施所引起的火灾;
  
  二是无尘室设施要耗用大量的电力,并且通常要常年持续不间断地运行。如果在工艺过程中出现了电源中断,所造成的制造停产会导致集成电路产量的大幅下降。而不间断电源(UPS)装置就用于防止无尘室出现断电停机的危险,而其中的不间断电源又进一步增加了产生火灾的风险等等。
  
  针对上术两种显著危害性,我们探讨详细解决方案。
  
  空调箱采样
  
  无尘室的空气流量水平和等级很大程度上取决于空气处理系统的规模和处理能力。空气处理装置(AHU)主要是一套规模很大的高功率装置,用于保持无尘室超洁净环境的高空气流量。在空气流量很高的环境下,一定要认识到所产生的烟雾会很快消散。而探测低浓度烟雾的最为有效的方式就是将采样管道布置在空气流动的直接线路处,并非常靠近已知的危险处(如工艺工具设备);在空气处理装置内部发生了火灾,只有火灾进入到实质性阶段,才能在无尘区探测出来。由于烟雾微粒会通过高效微粒空气过滤器(HEPA)/超高效空气过滤器(ULPA),所以推荐采样管道布置在气流刚刚流出空气处理装置的位置(参见图1),或在采用多台空气处理装置时,布置在各个空气处理装置的柜体之内(参见图2)。

空气处理装置系统上方的采样
  图1空气处理装置系统上方的采样
  
  
  图2


  
  为了得到空气流入空调箱的实际路径,最有效的方法是实施烟雾测试,在现场利用利用适当方式产生烟雾后,观察烟雾流动的方向。由于气流路径并不是一成不变的,建议在安装管路之前能够实施烟雾测试,以决定采样管路的最佳位置。
  
  最后要提醒的是,采样管路的安装不能影响到日后空调箱的维护工作。例如,一般而言这类型箱型空调均配备有灰尘过滤网,且过滤网在适当的时候必须清洗或更换。因此采样管路的安装必须不能影响日后这类型工作的进行。
  
  其次针对空气流,我们也可以采用回风口采样方式;

  
  
  图3


  
  在此必须强调的是,上述采样孔间距是最低要求。一般而言,由于采样管路上采样孔数量的多寡在大部分的情况下并不会增加系统成本,因此建议在符合设计限制的条件下,可以适当的缩小采样孔间距,多设计几个采样孔。在这种情况下,因为烟雾在采样孔的累积效应,采样孔数的多寡并不会影响系统灵敏度。而且,在相同管长的情况下适当的增加采样孔数量反而可以加大管路气流流速,进而减少烟雾在管路中的传输时间。
  
  机柜采样
  
  无尘室设施要耗用大量的电力,并且通常要常年持续不间断地运行。如果在工艺过程中出现了电源中断,所造成的制造停产会导致集成电路产量的大幅下降。而不间断电源(UPS)装置就用于防止无尘室出现断电停机的危险,而其中的不间断电源又进一步增加了产生火灾的风险。
  
  在不间断电源的柜内或柜顶安装的采样装置提供了对发生火灾的最早期探测。而AVA的探测器还可以配置成对多台装置进行采样的方式。
  
  机柜采样系统是将采样点配置在机柜,保护机柜内的设备。由于直接对保护对象采样,这种方式可以得到最早期的火灾预警效果。对于针对设备机柜保护的空气采样管路系统设计时的主要在考虑单台主机探测的机柜数量。探测机柜的总数影响到灵敏度(保护效果)以及报警时的火灾搜寻时间。
  
  AVA推荐使用CSD探测主机来探测机柜火灾,每个CSD可以探测1~4个机柜,如此不仅可以精确定位火灾发生位置,而且灵敏度非常高。
  
  CSD使用毛细软管,管路限制如下:
  
  一般使用外径10mm的塑料软管
  
  最多4个采样孔
  
  最多4个支管
  
  单根软管长度不超过4m
  
  分支软管管长度不超过2m
  
  总软管长度不超过6m


  图4


  
  下图是CSD典型的安装方式


  图5


  
  当然,机柜探测也可以使用QUARTAS或FANFARE探测主机,此时每路取样管(独风扇及探测腔)的设计原则与天花板下采样相同,每路最多可以有25个采样孔,也就是说最多可以探测25个机柜。使用QUARTAS或FANFARE于机柜烟雾探测时,除了报警时需要搜寻的机柜数量较多之外,仍然可以达到非常高(VeryHigh)灵敏度的保护效果。


  图6


  
  维护
  
  AVA空气采样探测系统能够降低长期的维护和维修费用。而通常的维护工作不需采用常见的接近采样管道或采样点的方式来进行,而且维护工作中不存在搬运问题或例如中断运行的要求(也就是关闭无尘室)。这样对采样点进行维修的需要也随之降低,因此减少了拆卸过滤器的需求以及可能发生的相关费用。

 


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